儀器名稱： 掃描電子顯微鏡
型號： EVO-18
國別廠家： 英國-卡爾蔡司
主要性能指標：
1、分辨率：3.0 nm @ 30 KV (SE與W)；4.0 nm @ 30 KV (VP with BSD )
2、加速電壓：0.2-30KV
3、放大倍數(shù)：5-1000000 x
4、探針電流：0.5PA-5μA
5、X-射線分析工作距離：8.5mm 35度接收角
6、低真空壓力范圍：10-400Pa
7、工作室：365mm(Φ) x275 mm(h)
8、5軸優(yōu)中心自動樣品臺：X=125mmY=125mmZ=50mmT= 0- 90° R=360°
9、最大試樣高度：145mm；最大試樣直徑：250mm
10、系統(tǒng)控制：基于Windows XP的SmartSEM操作系統(tǒng)
功能及服務(wù)范圍：
主要應(yīng)用在金屬、陶瓷、半導(dǎo)體、化學(xué)、生物等領(lǐng)域各種材料的形貌組織觀察，材料斷口分析和失效分析，材料實時微區(qū)成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面掃描和線掃描分布測量，晶體、晶粒的相鑒定，晶粒尺寸、形狀分析，晶體、晶粒取向測量。
購置日期： 2013.01
保管單位： 分析測試中心
放置地點： 躬行樓8108-2
聯(lián)系人姓名：鄭勝彪